الميزات التقنية ure-2000 / 17 الأشعة فوق البنفسجية الطباعة الحجرية العميقة :
باستخدام مجهر مجهر مجال الرؤية المحاذاة . الكرة وعاء التسوية ، رقاقة واحدة السيطرة ، لمس التبديل ، عملية مريحة وقوية العملي .
1المعلمات التقنية
lمنطقة التعرض4بوصة
lالطول الموجي التعرض :365nm
lالقرار1.5mmالغراء سميكة2 mmالجيلاتين (
lدقة المحاذاة :س1mm
lمجموعة كاملة من حركة قناع عينة :Xس15mm;Y:15mm
lحجم القناع :2.5بوصة3بوصة4بوصة5بوصة
lحجم العينة : القطرf15mm--f100mm
سمك .0.1mm--6mm(قابل للتوسيع15mm)
lالتعرض : توقيت ( العد التنازلي ) و جرعة ثابتة
lتفاوت الإضاءة : 51%(f100mmالمدى (
lمجهر مجهر المحاذاة الميدانيةمرئيمحاذاة ، ويمكن أيضا أن تكون مرتCCD+عرض المحاذاة ، التصوير الضوئي ، البصرية متعددة الأقصى400عصر البصرياتسالإلكترون التضخيم800عصر
عدسة الهدف ثلاثة أزواج :4مرات10مرات20عصر
ثلاثة أزواج من العدسات :10مرات16مرات20عصر
lالسكتة الدماغية قناع الحركة بالنسبة إلى عينة :
X:س5mm; Y:س5mm;qسس6درجة
lمصباح الزئبق السلطة :200Wالعاصمة
lكثافة طاقة التعرض6mW/cm
2البعد الخارجي :650mmطويلماذا ؟600mm(واسعوماذا ؟900mmعالية
3التكوين
(1تعرض رئيس
l200Wاستيراد العاصمة مصباح الزئبق عالية الجهد(أوسرامو
lXYZمصباح الزئبق تعديل الجدول
lنظام بصري
lمروحة تبريد
(2) محاذاة الجدول الشغل
lقناع قالب جزءا لا يتجزأ من حركة الجدول
lقناع نموذج الحركة النسبية الجدول
lطاولة دوارة
lنموذج آلية التسوية,دليل
lنموذج آلية التركيز ، دليل
lمع الجدول3صf50mm、?75mm、?100mmو
lقناع المشبك4ص2.5بوصة3بوصة4بوصة5بوصة (
lقناع سحب نوع العلوي والسفلي آلية
(3محاذاة المجهر
lمصدر الضوء ( قطع غيار )2فقط ) ، وإمدادات الطاقة
lمجهر مجهر محاذاة الجسم الرئيسي
lالعدسة3صحيح )10مرات16مرات20مرات6ص
lعدسة الهدف3صحيح )4مرات10مرات20مرات6ص
lCCD( تايوان )
l21شاشات الكريستال السائل
(4نظام التحكم الإلكتروني )
lمصباح الزئبق الزناد امدادات الطاقة(200Wالعاصمة مصباح الزئبقو
lنظام مراقبة الحواسيب الصغيرة رقاقة واحدة
lمجلس الوزراء التحكم
(5نظام هوائي
lاسطوانة ، صمام الملف اللولبي ، صمام تخفيض الضغط ، تعمل بالهواء المضغوط التبديل ، الخ .
lصمام الملف اللولبي محرك
lأداة تعمل بالهواء المضغوط
(6( المرفقات الأخرى )
lفراغ مضخة
lخط أنابيب
(7البيانات التقنية
lتعليمات الاستخدام والصيانة
lدليل استخدام المجهر
