معلومات المنتج
مميزات
رئيس يدمج المهام اللازمة لقياس سماكة الفيلم
دقة عالية الانعكاس المطلق ( سمك الفيلم متعدد الطبقات ، الثوابت البصرية ) قياس الطيف المجهري
قياس سرعة عالية
مجموعة واسعة من النظم البصرية ( الأشعة فوق البنفسجية إلى الأشعة تحت الحمراء القريبة ) تحت المجهر الضوئي
آلية أمنية إقليمية سنسر
من السهل تحليل المعالج ، يمكن للمبتدئين أيضا تحليل الثوابت البصرية
قياس مستقلة رئيس يتوافق مع متطلبات التخصيص المختلفة في خط
دعم مختلف العرف
|
OPTM-A1 |
OPTM-A2 |
OPTM-A3 |
| نطاق الطول الموجي |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
| سماكة الفيلم مجموعة |
1nm ~ 35μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
| تحديد الوقت |
1 ثانية / 1 نقطة |
| حجم البقعة |
10 ميكرومتر ( الحد الأدنى حوالي 5 ميكرومتر ) |
| عنصر حساس |
CCD |
InGaAs |
| مواصفات مصدر الضوء |
مصباح الديوتيريوم + مصباح هالوجين |
مصباح هالوجين |
| مواصفات الطاقة |
ac100v ± 10V 750va ( التلقائي عينة الجدول المواصفات ) |
| حجم |
555 ( ث ) × 537 ( د ) × 568 ( ح ) مم ( الجزء الرئيسي من الجدول التلقائي عينة المواصفات ) |
| وزن . |
حوالي 55 كجم )الجزء الرئيسي من الجدول التلقائي عينة مواصفاتو |
بنود القياس :
قياس الانعكاس المطلق
تحليل متعدد الطبقات
تحليل الثوابت البصرية ( ن : معامل الانكسار ، ك : معامل الخمود )
قياس عينة :
قياس سماكة الفيلم sio 2 sin [ fe-0002 ]
أشباه الموصلات الترانزستور يرسل إشارة عن طريق التحكم في حالة التوصيل الحالية ، ولكن من أجل منع التسرب الحالي و تيار آخر الترانزستور من خلال أي مسار ، من الضروري عزل الترانزستور ودفن في فيلم العازلة . SiO2 ( ثاني أكسيد السيليكون ) أو ( Sin نيتريد السيليكون ) يمكن استخدامها في الأفلام العازلة . sio 2 بمثابة فيلم العازلة ، في حين أن الخطيئة بمثابة فيلم العازلة وجود ثابت العزل الكهربائي أعلى من sio 2 ، أو لا لزوم لها طبقة الحاجز لإزالة sio 2 من خلال مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف . الخطيئة ثم إزالتها . من أجل أداء الأفلام العازلة ومراقبة عملية دقيقة ، من الضروري قياس سماكة هذه الأفلام .
قياس سماكة الفيلم لون مقاومة الخسارة ( RGB ) [ fe-0003 ]
هيكل شاشات الكريستال السائل عادة ما يظهر على اليمين . قوات التحالف لديها RGB في بكسل ، وهو نمط دقيق جدا . في قوات التحالف فيلم تشكيل الأسلوب ، التيار الرئيسي هو عملية تعريض وتطوير من قبل الطباعة الحجرية باستخدام اللون على أساس مقاومة الخسارة وكيل تطبيقها على كامل سطح الزجاج ، وترك فقط جزء منقوشة في كل RGB . في هذه الحالة ، إذا كان سمك اللون مقاومة ليست ثابتة ، نمط التشويه و تغيير اللون نتيجة تصفية اللون ، وبالتالي إدارة قيمة سمك الفيلم مهم جدا .
قياس سماكة الطلاء الصلب [ fe-0004 ]
في السنوات الأخيرة ، والمنتجات التي تستخدم الأفلام عالية الأداء مع وظائف مختلفة تستخدم على نطاق واسع ، اعتمادا على التطبيقات ، الأفلام الواقية مع خصائص مثل مقاومة الاحتكاك ، ومقاومة الصدمات ، ومقاومة الحرارة ، ومقاومة المواد الكيميائية على سطح الفيلم يجب أن تقدم . عادة ، فيلم واقية من الصعب طلاء ( HC ) الفيلم ، ولكن اعتمادا على سمك HC الفيلم ، فيلم واقية لا يمكن أن تلعب دورا في تشويه الفيلم ، أو مظهر غير منتظم و تشوه . ولذلك ، فمن الضروري لإدارة سمك HC طبقة .
النظر في قياس سماكة الفيلم من خشونة السطح [ fe-0007 ]
عندما يكون هناك خشونة على سطح العينة ، خشونة السطح ، الهواء ، فيلم سمك المواد مختلطة في نسبة 1 : 1 ، محاكاة " طبقة الخام " ، خشونة وسمك الفيلم يمكن تحليلها . هنا مثال على قياس خشونة السطح من عدة نانومتر ( نيتريد السيليكون نيتريد السيليكون ) .
قياس التداخل الضوئي مرشح باستخدام نموذج [ fe-0009 superlattice ]
عندما يكون هناك خشونة على سطح العينة ، خشونة السطح ، الهواء ، فيلم سمك المواد مختلطة في نسبة 1 : 1 ، محاكاة " طبقة الخام " ، خشونة وسمك الفيلم يمكن تحليلها . هنا مثال على قياس خشونة السطح من عدة نانومتر ( نيتريد السيليكون نيتريد السيليكون ) .
قياس العضوية ال مواد التعبئة والتغليف باستخدام نموذج طبقة noninterference [ fe-0010 ]
ال المواد العضوية هي عرضة للأكسجين والرطوبة ، ويمكن أن تتدهور وتتلف تحت ظروف الغلاف الجوي العادية . ولذلك ، يجب أن تكون مختومة مع الزجاج مباشرة بعد تشكيل الفيلم . قياس سماكة الفيلم من الزجاج في حالة الختم هو موضح هنا . الزجاج وطبقة الهواء المتوسطة استخدام نموذج طبقة عدم التدخل .
قياس المجهول رقيقة جدا nk [ fe-0013 ] باستخدام نفس التحليل متعدد النقاط
من أجل تحليل قيمة سمك الفيلم ( د ) من خلال تركيب طريقة المربعات الصغرى ، فإنه يحتاج إلى مادة ( نك ) إذا كان غير معروف ، ثم د و نك يتم تحليلها على أنها متغيرة المعالم . ومع ذلك ، في حالة د 100nm أو أقل ، د و نك لا يمكن فصلها ، وبالتالي فإن الدقة سوف تنخفض و دقة د لا يمكن الحصول عليها في هذه الحالة ، قياس عينات متعددة من مختلف د ، على افتراض أن ك هو نفسه ، وإجراء تحليل في وقت واحد ( متعدد نقطة نفس التحليل ) ، ثم يمكنك الحصول على دقة عالية ، دقة ك و د .
قياس سماكة الفيلم من الركيزة مع واجهة معامل [ fe-0015 ]
إذا كان سطح الركيزة ليست مرآة و خشونة كبيرة ، قياس الضوء يقلل من تشتت الضوء و قياس الانعكاس هو أقل من القيمة الفعلية . من خلال استخدام معامل واجهة ، سمك الفيلم على الركيزة يمكن قياسها بسبب انخفاض الانعكاس على سطح الركيزة . على سبيل المثال ، على سبيل المثال قياس سماكة الفيلم من الراتنج الفيلم على الشعر الانتهاء من الألومنيوم الركيزة هو مبين .
قياس سمك الطلاء DLC لأغراض مختلفة
DLC ( الماس مثل الكربون ) هو غير متبلور الكربون القائم على المواد . بسبب صلابة عالية ، وانخفاض معامل الاحتكاك ، وارتداء المقاومة ، والعزل الكهربائي ، وارتفاع الحاجز ، تعديل السطح ، وغيرها من خصائص المواد تقارب ، وتستخدم على نطاق واسع في مجموعة متنوعة من التطبيقات . في السنوات الأخيرة ، وفقا لمختلف التطبيقات ، قياس سماكة الفيلم هو أيضا في ازدياد .
عادة ، يتم قياس سمك المدمرة DLC باستخدام المجهر الإلكتروني لمراقبة إعداد عينة عبر الباب . قياس سماكة الفيلم باستخدام التداخل الضوئي اوتسوكا الكترون يمكن قياسها بشكل غير تدميري و بسرعة عالية . عن طريق تغيير قياس الطول الموجي مجموعة ، مجموعة واسعة من سمك الفيلم من القطب رقيقة جدا فيلم سميكة يمكن قياسها .
من خلال اعتماد منطقتنا المجهر الضوئي ، ونحن ليس فقط يمكن قياس ورصد عينة ، ولكن أيضا يمكن قياس عينة مع الشكل . وبالإضافة إلى ذلك ، رصد يمكن أن تستخدم أيضا في تحليل أسباب الاستثناء ، في حين يؤكد طريقة القياس تتم أثناء التحقق من قياس الموقف .
دعم مخصص إمالة / منصة دوارة التي يمكن أن تتطابق مع مختلف الأشكال . أي مواقع متعددة من العينة الفعلية يمكن قياسها .
نقطة ضعف التداخل الضوئي نظام سمك الفيلم هو أنه لا يمكن قياس سماكة الفيلم بدقة دون معرفة الثوابت البصرية ( NK ) من المواد . ويمكن قياس سماكة مختلفة من العينات التي تم إعدادها في وقت واحد . بالمقارنة مع التقليدية طريقة القياس ، دقة عالية جدا يمكن الحصول عليها .
معايرة عينات قياسية معتمدة من قبل نيست ( المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا ) يضمن التتبع .
